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*X光电子能谱（XPS）
*俄歇电子能谱（AES/SAM）
*二次离子质谱（SIMS）
*离子散射谱（ISS）
*离子束（剖面分析） |
| ◆主要功能 |
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| XSAM800多功能表面分析系统可以进行各种材料的表面分析和界面分析。分析厚度可以从几纳米至几十纳米。分析内容包括成分分析、元素化学价态分析、深度分析、微区分析、表面形貌像及元素像分析。 |
| ◆应用范围 |
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| 各种薄膜表面与界面分析，金属氧化与腐蚀，复合材料界面分析，器件、玻璃、陶瓷、催化剂、高分子材料、半导体材料、吸咐材料、超导材料、发光材料、润滑材料及稀土材料分析，产品质量分析及剖析。总之，可以解决各种固体表面化学问题。 |
| ◆主要特色 |
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| 该仪器具有国内唯一的四阳极X光枪（Mg,Al,Ag,Ti),可做变能分析。配置了最新的数据处理系统，可进行数据交流及远程通讯。 |
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CIS拟合谱
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Cu2P深度分布
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XPS全谱
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深度浓度分布
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